一种具旋转舱体的封闭靶仓
基本信息
| 申请号 | CN202110266009.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113061856A | 公开（公告）日 | 2021-07-02 |
| 申请公布号 | CN113061856A | 申请公布日 | 2021-07-02 |
| 分类号 | C23C14/35 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 战永刚;战捷;冯红涛;周林;尹强 | 申请（专利权）人 | 深圳市三束镀膜技术有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市中科创为专利代理有限公司 | 代理人 | 刘曰莹;袁曼曼 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙华区福城街道福民社区核电工业园5号101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种具旋转舱体的封闭靶仓，包括舱体和溅射靶，所述溅射靶设于所述舱体的腔体内；所述舱体外还设有：门框、舱门、第一驱动装置和第二驱动装置，所述舱体上设有开口，所述门框设于所述开口上，所述第二驱动装置驱动所述舱门运动，以与门框相配合实现对所述舱体的关闭与打开；所述舱门与所述门框相对接时，所述舱体形成一密闭容器；所述第一驱动装置驱动所述舱体旋转。本发明对溅射靶实现真空密封的同时，减小了靶仓开关所占用的空间，节省了镀膜机内的空间，且通过第二驱动装置驱动舱门前推和后拉实现关闭和打开，舱门关闭后由第二驱动装置持续前推的动作实现锁紧，无需再额外设置锁紧机构进行锁紧，简化了设备，操作更加简单便捷。 |
