一种氩气净化与回收方法及系统
基本信息
申请号 | CN202010424997.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111634896A | 公开(公告)日 | 2020-09-08 |
申请公布号 | CN111634896A | 申请公布日 | 2020-09-08 |
分类号 | C01B23/00(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
发明人 | 李世刚;蒋化;王艳婷;沈红宝 | 申请(专利权)人 | 北京北大先锋科技股份有限公司 |
代理机构 | 北京万象新悦知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄凤茹 |
地址 | 100080北京市海淀区中关村北大街151号燕园资源大厦401 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公布了一种氩气净化与回收方法及系统,依次包括:第一段变温吸附装置TSA1,换热器,欠氧催化塔,加热器,循环氧化塔,第二段变温吸附装置TSA2,脱氮装置VPSA,真空泵;各个构件通过管路及阀门组件相连接。将氩气中含有的烃类物质分开进行处理,且采用两段燃烧方法,先使用第一段变温吸附装置TSA1首先脱除难燃烧的烃类物质,再通过低温催化的方式燃烧吸附量小易燃烧的烃类物质,使得系统热量充分利用,运行费用低,氩气的回收率高。 |
