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一种半导体加工用检测装置

基本信息

申请号 CN202121251153.5 申请日 -
公开（公告）号 CN215375134U 公开（公告）日 2021-12-31
申请公布号 CN215375134U 申请公布日 2021-12-31
分类号 G01N21/88（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 胡建策;徐际泱;胡葵林 申请（专利权）人 宁夏万泰照明科技股份有限公司
代理机构 呼和浩特市盛联专利代理事务所（普通合伙） 代理人 经国富
地址 750000宁夏回族自治区银川市经济技术开发区西区经天东路22号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供了一种半导体加工用检测装置，属于半导体检测技术领域。该半导体加工用检测装置包括放大调节组件、夹持调节组件、夹持固定组件以及清洁组件。所述第一滑轨固定在所述箱体的内部下方，所述滑动座滑动连接在所述第一滑轨上，所述放大镜连接在所述支撑架的一侧。所述第二滑轨连接在所述箱体的上方，所述螺纹套连接在所述连接柱的一侧，所述螺纹杆与所述螺纹套之间螺纹连接，所述气缸固定在所述箱体的上方，所述气缸的输出端与所述连接柱连接。有利于对检测装置的位置和高度进行调节，有利于对不同尺寸的半导体进行固定，有利于对半导体固定的位置进行调节，使得半导体检测较为全面，提高了半导体的检测效果。