分段式掩膜片、掩膜版、掩膜版组件及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202010837092.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111996489B | 公开（公告）日 | 2022-01-07 |
| 申请公布号 | CN111996489B | 申请公布日 | 2022-01-07 |
| 分类号 | C23C14/04（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I;C23C4/12（2016.01）I;C09J4/06（2006.01）I;C09J11/06（2006.01）I;C09J11/08（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 钱超;杨柯 | 申请（专利权）人 | 南京高光半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 南京中律知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 沈振涛 |
| 地址 | 210000江苏省南京市栖霞区红枫科技园A7-17号门1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种分段式掩膜片，其为网格状结构，包括外部的框体、内部的孔体、连接部、卡接槽口、突起；框体内部通过多组连接部间隔，间隔位置为内部的孔体；至少独立地设置有一组卡接槽口、一组突起设置在框体的任一两个侧面；卡接槽口和突起结构相匹配。同时，还公开了掩膜版、掩膜版组件及其制作方法，该组件用于OLED器件蒸镀用通过改进和设计可拆卸安装时粘结剂的组份和份数，能够可拆卸地将有损坏的分段式掩膜片进行可选择地、有目的的直接更换，重组后，再将其进行二次或多次使用，降低了修复成本，提升了高精密金属掩膜版的使用良率以及工作效率。 |
