一种防止边角张网形变的金属掩膜版

基本信息

申请号 CN202121773797.0 申请日 -
公开(公告)号 CN215593169U 公开(公告)日 2022-01-21
申请公布号 CN215593169U 申请公布日 2022-01-21
分类号 C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 钱超;张蔡星;李成林;杨波 申请(专利权)人 南京高光半导体材料有限公司
代理机构 南京钟山专利代理有限公司 代理人 王磊
地址 210033江苏省南京市南京经济技术开发区红枫科技园A7-17
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种防止边角张网形变的金属掩膜版,包括掩膜版本体以及掩膜版本体上的掩膜图案,所述掩膜版本体在正负X/Y四个方向都设有向内的形变预留量,所述形变预留量包括均一段和两个非均一段,两个所述非均一段关于所述均一段对称且位于所述均一段的两侧,所述掩膜版本体整体结构关于中心对称,本实用新型将掩膜版本体改进为形变预留量分段设计,中间位置使用较大形变预留量,然后形变预留量从中间位置向边角逐渐减小,如此可在保证网面整体下垂量的前提下,将角落位置的张网拉力降低,有效避免因边角拉力过大而产生的网面形变问题。