一种防止边角张网形变的金属掩膜版
基本信息
| 申请号 | CN202121773797.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215593169U | 公开（公告）日 | 2022-01-21 |
| 申请公布号 | CN215593169U | 申请公布日 | 2022-01-21 |
| 分类号 | C23C14/04（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 钱超;张蔡星;李成林;杨波 | 申请（专利权）人 | 南京高光半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 南京钟山专利代理有限公司 | 代理人 | 王磊 |
| 地址 | 210033江苏省南京市南京经济技术开发区红枫科技园A7-17 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种防止边角张网形变的金属掩膜版，包括掩膜版本体以及掩膜版本体上的掩膜图案，所述掩膜版本体在正负X/Y四个方向都设有向内的形变预留量，所述形变预留量包括均一段和两个非均一段，两个所述非均一段关于所述均一段对称且位于所述均一段的两侧，所述掩膜版本体整体结构关于中心对称，本实用新型将掩膜版本体改进为形变预留量分段设计，中间位置使用较大形变预留量，然后形变预留量从中间位置向边角逐渐减小，如此可在保证网面整体下垂量的前提下，将角落位置的张网拉力降低，有效避免因边角拉力过大而产生的网面形变问题。 |
