一种掩膜版Stick条的冲压夹具、冲压装置及加工方法
基本信息
申请号 | CN202111475053.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114160647A | 公开(公告)日 | 2022-03-11 |
申请公布号 | CN114160647A | 申请公布日 | 2022-03-11 |
分类号 | B21D22/04(2006.01)I;B21D43/00(2006.01)I;B21D1/02(2006.01)I | 分类 | 基本上无切削的金属机械加工;金属冲压; |
发明人 | 钱超;李成林;张蔡星 | 申请(专利权)人 | 南京高光半导体材料有限公司 |
代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人 | 董成 |
地址 | 210000江苏省南京市栖霞区红枫科技园A7-17号门1楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提出的一种掩膜版Stick条的冲压夹具、冲压装置及加工方法,涉及掩膜版加工设备领域。冲压夹具包括:支撑台面,两个支撑台面平行设置,之间具有沿y轴方向延伸的工件放置区域;以及锁定装置,其包括压件和第一驱动单元,压件位于所述的支撑台面的上侧,第一驱动单元用于驱动压件沿z轴方向的移动;多个锁定装置设置在工件放置区域的两侧,且沿y轴方向分布;以及整平装置,其包括压辊和压辊输送装置,压辊位于工件放置区域的上方,压辊输送装置能够带动压辊沿z轴方向和y轴方向的移动。冲压装置包含上述的冲压夹具。加工时,利用整平装置将掩膜版Stick条后并利用锁定装置进行锁紧。本发明能够提高大尺寸的掩膜版Stick条的冲压加工精度和良率。 |
