一种掩膜版Stick条的冲压夹具、冲压装置及加工方法

基本信息

申请号 CN202111475053.5 申请日 -
公开(公告)号 CN114160647A 公开(公告)日 2022-03-11
申请公布号 CN114160647A 申请公布日 2022-03-11
分类号 B21D22/04(2006.01)I;B21D43/00(2006.01)I;B21D1/02(2006.01)I 分类 基本上无切削的金属机械加工;金属冲压;
发明人 钱超;李成林;张蔡星 申请(专利权)人 南京高光半导体材料有限公司
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 代理人 董成
地址 210000江苏省南京市栖霞区红枫科技园A7-17号门1楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提出的一种掩膜版Stick条的冲压夹具、冲压装置及加工方法,涉及掩膜版加工设备领域。冲压夹具包括:支撑台面,两个支撑台面平行设置,之间具有沿y轴方向延伸的工件放置区域;以及锁定装置,其包括压件和第一驱动单元,压件位于所述的支撑台面的上侧,第一驱动单元用于驱动压件沿z轴方向的移动;多个锁定装置设置在工件放置区域的两侧,且沿y轴方向分布;以及整平装置,其包括压辊和压辊输送装置,压辊位于工件放置区域的上方,压辊输送装置能够带动压辊沿z轴方向和y轴方向的移动。冲压装置包含上述的冲压夹具。加工时,利用整平装置将掩膜版Stick条后并利用锁定装置进行锁紧。本发明能够提高大尺寸的掩膜版Stick条的冲压加工精度和良率。