LED晶圆扩张翻边装置
基本信息
申请号 | CN201911347277.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN110993554A | 公开(公告)日 | 2020-04-10 |
申请公布号 | CN110993554A | 申请公布日 | 2020-04-10 |
分类号 | H01L21/683;H01L33/48 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 狄建科;秦松;刘雪;胡斌 | 申请(专利权)人 | 苏州展德自动化设备有限公司 |
代理机构 | 江苏圣典律师事务所 | 代理人 | 王玉国 |
地址 | 215021 江苏省苏州市工业园区杏林街98号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及LED晶圆扩张翻边装置,包括直线驱动机构以及连接于其上的晶圆扩张机构,晶圆扩张机构包含连接固定板和支撑架,支撑架上固定一底板,底板上竖立安装有导向柱,中部安装有丝杠支座,丝杠支撑于丝杠支座上,升降板套置于导向柱上,升降板的中部安装有与丝杠相旋配的螺母,升降板上固定一支撑柱,支撑柱的顶端连接固定盘,固定盘上开设有容纳槽,加热盘置于容纳槽内,固定盘的边缘部设有环形凹槽,膜片撑环嵌入环形凹槽中,固定盘上安装扩晶盘,扩晶盘的外缘设有用于容纳内环的限位台阶部,导向柱的顶端安装有扩晶载板,其上安装有旋转压紧机构。自动化实现扩晶后翻边,使扩晶后的膜片长时间保持张力不变,扩晶效率高,效果好。 |
