首页/ 苏州展德自动化设备有限公司/ 专利详情

LED晶圆扩张翻边装置

基本信息

申请号 CN201911347277.0 申请日 -
公开（公告）号 CN110993554A 公开（公告）日 2020-04-10
申请公布号 CN110993554A 申请公布日 2020-04-10
分类号 H01L21/683;H01L33/48 分类 基本电气元件;
发明人 狄建科;秦松;刘雪;胡斌 申请（专利权）人 苏州展德自动化设备有限公司
代理机构 江苏圣典律师事务所 代理人 王玉国
地址 215021 江苏省苏州市工业园区杏林街98号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及LED晶圆扩张翻边装置，包括直线驱动机构以及连接于其上的晶圆扩张机构，晶圆扩张机构包含连接固定板和支撑架，支撑架上固定一底板，底板上竖立安装有导向柱，中部安装有丝杠支座，丝杠支撑于丝杠支座上，升降板套置于导向柱上，升降板的中部安装有与丝杠相旋配的螺母，升降板上固定一支撑柱，支撑柱的顶端连接固定盘，固定盘上开设有容纳槽，加热盘置于容纳槽内，固定盘的边缘部设有环形凹槽，膜片撑环嵌入环形凹槽中，固定盘上安装扩晶盘，扩晶盘的外缘设有用于容纳内环的限位台阶部，导向柱的顶端安装有扩晶载板，其上安装有旋转压紧机构。自动化实现扩晶后翻边，使扩晶后的膜片长时间保持张力不变，扩晶效率高，效果好。