基片处理设备
基本信息
| 申请号 | CN202010990278.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114203618A | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN114203618A | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈树青 | 申请（专利权）人 | 上海新微技术研发中心有限公司 |
| 代理机构 | 北京知元同创知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘元霞 |
| 地址 | 201800上海市嘉定区城北路235号1号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供一种基片处理设备，包括：腔体，其由外壳和盖子围合而成；支架，其位于所述腔体内，对基片进行支撑；升降机构，其进行升降运动，以驱动所述支架在所述腔体内进行升降；控制信号发生器，其生成用于控制所述升降机构进行升降运动的控制信号；以及基片探测器，其探测所述基片在所述支架上是否处于水平状态，在所述基片探测器探测出所述基片在所述支架上处于相对于水平方向倾斜的状态时，所述升降机构停止进行所述升降运动。 |
