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光波导微流体芯片的制造方法

基本信息

申请号	CN202010052316.0	申请日	-
公开（公告）号	CN111239897B	公开（公告）日	2022-02-11
申请公布号	CN111239897B	申请公布日	2022-02-11
分类号	G02B6/132（2006.01）I;G02B6/138（2006.01）I;G01N21/03（2006.01）I	分类	光学;
发明人	陈昌;刘博;豆传国	申请（专利权）人	上海新微技术研发中心有限公司
代理机构	苏州国卓知识产权代理有限公司	代理人	黄少波
地址	201800上海市嘉定区城北路235号1号楼
法律状态	-

摘要

本发明提供一种光波导微流体芯片的制造方法，包括，提供衬底，在所述衬底上形成厚度为2～3μm的下包层；在下包层上形成波导层，波导层是氮化硅材料；以波导层形成光波导；在波导层上形成厚度为15～30μm的上包层；形成微流道，所述微流道由上而下贯穿所述上包层、所述波导层和所述下包层延伸进所述衬底；所述光波导用以将光沿水平方向导入所述微流道内，所述下包层是二氧化硅，所述上包层是高分子聚合材料，所述微流道延伸进所述衬底10～15μm，宽度为10‑100μm。具有有益效果：生产芯片级光学检测系统，把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。