一种单向载流子传输光电探测器及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201811428096.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111312827B | 公开（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申请公布号 | CN111312827B | 申请公布日 | 2022-03-01 |
| 分类号 | H01L31/0216（2014.01）I;H01L31/0224（2006.01）I;H01L31/0352（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 汪巍;方青;余明斌 | 申请（专利权）人 | 上海新微技术研发中心有限公司 |
| 代理机构 | 北京知元同创知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘元霞 |
| 地址 | 201800上海市嘉定区城北路235号3号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供一种单向载流子传输光电探测器及其制造方法。该探测器包括：位于衬底表面的阴极接触层，所述阴极接触层用于和阴极电极接触；位于所述阴极接触层表面的电子收集区；位于所述电子收集区表面的缓冲层；位于所述缓冲层表面的光吸收区，所述光吸收区的材料为锗锡，所述光吸收区吸收光并生成电子和空穴；位于所述光吸收区表面的势垒层，所述势垒层与所述光吸收区界面形成导带带阶，所述带阶阻止所述光吸收区生成的电子穿过所述界面；以及位于所述势垒层表面的阳极接触区。本申请有利于实现大功率高速单向载流子传输探测器。 |
