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具有翻转芯片功能的芯片吸取装置

基本信息

申请号 CN201020615439.2 申请日 -
公开（公告）号 CN201887034U 公开（公告）日 2011-06-29
申请公布号 CN201887034U 申请公布日 2011-06-29
分类号 H01L21/683(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 尹周平;蔡伟林;付宇;王瑜辉;熊有伦 申请（专利权）人 华工制造装备数字化国家工程中心有限公司
代理机构 华中科技大学专利中心 代理人 李智
地址 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种具有翻转芯片功能的芯片吸取装置，包括Z向高度调节与支撑机构、翻转驱动机构、芯片吸取机构，Z向高度调节与支撑机构将芯片吸取机构移动到适宜高度，翻转驱动机构驱动芯片吸取机构旋转，芯片吸取机构包括直线导向运动部件和芯片吸取元件，直线导向运动部件内设有直线轴承和弹簧，直线导向轴从上往下穿过直线轴承和弹簧，其端部连接芯片吸取元件，由于弹簧的缓冲作用，芯片吸取元件将芯片吸住后跟随芯片上升一定的高度，再在翻转驱动机构的作用下旋转到达芯片供给位置。本实用新型一方面避免了非接触式吸取的不可靠性，另一方面也避免了刚性接触式吸取时芯片因受力过大而损伤，实现了芯片的可靠与无损伤吸取和翻转。