一种防止刮蹭台面的钝化结构及其制备方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN202010171990.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111341735B | 公开（公告）日 | 2021-03-26 |
| 申请公布号 | CN111341735B | 申请公布日 | 2021-03-26 |
| 分类号 | H01L23/31(2006.01)I;H01L29/861(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈年;张龙;刘智;韩超 | 申请（专利权）人 | 扬州国宇电子有限公司 |
| 代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄启兵 |
| 地址 | 225000江苏省扬州市吴州东路188号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了半导体玻璃钝化工艺领域内的一种防止刮蹭台面的钝化结构及其制备方法和应用。本钝化结构包括：Si外延衬底，Si外延衬底上表面中部设置有台柱；垫高层，设置于Si外延衬底上表面周缘，所述垫高层上表面高于台柱的上表面。本钝化结构Si外延衬底周缘的垫高层形成台阶，在玻璃钝化过程中刮涂刀以台阶上表面为基准面将玻璃乳浆刮涂至台阶内至玻璃乳浆包裹台柱周面及上表面，刮涂过程中刮涂刀不会触碰到台柱台面，从而保护台面防止损伤。 |
