一种改善金属蒸发角度的承片机构
基本信息
| 申请号 | CN202120149500.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213936159U | 公开（公告）日 | 2021-08-10 |
| 申请公布号 | CN213936159U | 申请公布日 | 2021-08-10 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张官星;李俊;刘智;张龙 | 申请（专利权）人 | 扬州国宇电子有限公司 |
| 代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 潘云峰 |
| 地址 | 225000江苏省扬州市吴州东路188号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种改善金属蒸发角度的承片机构，包括行星锅，所述行星锅固定在蒸发腔内，且行星锅开口朝向蒸发源设置；若干个承片盘，若干个所述承片盘均匀布置在所述行星锅内，且承片盘与所述行星锅内壁之间设有支撑机构，所述支撑机构用于支撑并朝蒸发源方向抬起所述承片盘。本实用新型通过支撑机构将承片盘朝蒸发源方向抬起，从而能够有效改善蒸发角度，避免入射角度导致的金属脱落或金属膜分布不均匀现象；结构简单，成本低，能够快速由现有设备改造而来，普及性强；承片盘分别分布在内侧的内盘和环绕布置在外围的外盘，能够有效避免支撑后的干涉问题。 |
