一种深紫外LEDs制备方法及深紫外LEDs
基本信息
申请号 | CN202011610434.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114695603A | 公开(公告)日 | 2022-07-01 |
申请公布号 | CN114695603A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
分类号 | H01L33/00(2010.01)I;H01L33/40(2010.01)I;H01L33/42(2010.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 陈洋;孙晓娟;黎大兵;蒋科;贲建伟;张山丽 | 申请(专利权)人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
代理机构 | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 130033吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供的深紫外LEDs制备方法,以过原位生长的图案化石墨烯作为深紫外LEDs的p接触层,同时利用原位掺杂方法调控石墨烯的能级,替代传统的紫外光吸收p‑GaN接触层材料,进而提高深紫外LEDs的光取出效率,本发明提供的深紫外LEDs制备方法为制备高功率、顶出射的深紫外LEDs提供了一种简便、可行的新方案。另外,本发明还提供了一种由上述制备方法制备得到的深紫外LEDs。 |
