一种深紫外LEDs制备方法及深紫外LEDs

基本信息

申请号 CN202011610434.5 申请日 -
公开(公告)号 CN114695603A 公开(公告)日 2022-07-01
申请公布号 CN114695603A 申请公布日 2022-07-01
分类号 H01L33/00(2010.01)I;H01L33/40(2010.01)I;H01L33/42(2010.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 陈洋;孙晓娟;黎大兵;蒋科;贲建伟;张山丽 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
代理机构 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 -
地址 130033吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供的深紫外LEDs制备方法,以过原位生长的图案化石墨烯作为深紫外LEDs的p接触层,同时利用原位掺杂方法调控石墨烯的能级,替代传统的紫外光吸收p‑GaN接触层材料,进而提高深紫外LEDs的光取出效率,本发明提供的深紫外LEDs制备方法为制备高功率、顶出射的深紫外LEDs提供了一种简便、可行的新方案。另外,本发明还提供了一种由上述制备方法制备得到的深紫外LEDs。