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一种二氧化碳射频激光器闭环功率控制系统

基本信息

申请号	CN201620763472.7	申请日	-
公开（公告）号	CN206059896U	公开（公告）日	2017-03-29
申请公布号	CN206059896U	申请公布日	2017-03-29
分类号	H01S3/104(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	庞海波	申请（专利权）人	山西大威激光科技有限公司
代理机构	北京轻创知识产权代理有限公司	代理人	杨立
地址	030000 山西省太原市综改示范区太原阳曲园区锦绣大街小微企业园二期5-1号厂房一层
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及一种二氧化碳射频激光器闭环功率控制系统，涉及CO₂射频激光器功率控制领域。目的在于解决目前CO₂射频激光器功率控制采用开环功率控制方式导致的输出功率不稳定、控制效果不佳的问题。反馈控制电路的功率PWM信号输入端接收外部控制输入端输入的功率PWM信号；反馈控制电路的激励电源输出端与射频激励电源的激励电源输入端连接；射频激励电源的射频脉冲信号输出端与CO₂射频腔的射频脉冲信号输入端连接；CO₂射频腔的CO₂激光信号输出端与CO₂激光功率检测电路的CO₂激光信号输入端连接；CO₂激光功率检测电路的功率反馈信号输出端与反馈控制电路的功率反馈信号输入端连接。适用于CO₂射频激光器功率控制。