可重构环形天线中基于台状有源区PIN二极管串的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201611184336.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107068560B | 公开（公告）日 | 2018-11-27 |
| 申请公布号 | CN107068560B | 申请公布日 | 2018-11-27 |
| 分类号 | H01L21/329;H01L29/868;H01Q1/22;H01Q1/36;H01Q7/00 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 尹晓雪;张亮 | 申请（专利权）人 | 吴江科技创业园管理服务有限公司 |
| 代理机构 | 西安嘉思特知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 西安科锐盛创新科技有限公司;吴江科技创业园管理服务有限公司 |
| 地址 | 710065 陕西省西安市高新区高新路86号领先时代广场(B座)第2幢1单元22层12202号房51号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种可重构环形天线中基于台状有源区PIN二极管串的制备方法。该制备方法包括：(a)选取SOI衬底；(b)刻蚀SOI衬底形成台状有源区；(c)对所述台状有源区四周利用原位掺杂工艺分别淀积P型Si材料和N型Si材料形成P区和N区；(d)在所述台状有源区四周淀积多晶Si材料；(e)在所述多晶Si材料表面制作引线并光刻PAD以形成所述PIN二极管。本发明实施例利用原位掺杂工艺能够制备并提供适用于形成固态等离子天线的高性能基于台状有源区的PIN二极管串。 |
