一种用于高温扩散炉的喷淋管及其应用
基本信息
| 申请号 | CN201510416519.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105070783B | 公开（公告）日 | 2018-08-24 |
| 申请公布号 | CN105070783B | 申请公布日 | 2018-08-24 |
| 分类号 | H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 孙海平;李静;李洪波;张斌 | 申请（专利权）人 | 奥特斯维能源（太仓）有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 柏尚春 |
| 地址 | 215434 江苏省苏州市太仓市太仓港港口开发区平江路88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种气体扩散喷淋管，所述气体扩散喷淋管的一端为进气口，所述喷淋管的另一端为密封端，所述喷淋管上设有喷淋口，所述喷淋口与弯曲喷嘴连通，所述弯曲喷嘴上设有弯曲部和出气口，所述出气口的内径大于喷淋口的直径，所述出气口的出气方向与喷淋管的进气口的进气方向一致。本发明还公开利用上述气体扩散喷淋管的高温扩散炉，改变了携源氮气喷淋的方向，将磷源通过喷淋管直接导入到扩散炉的不同位置，携源氮气可以从新型喷淋管平稳流出而不会造成紊流，炉管中的硅片不再因位置的限制而无法与磷源进行充分反应。 |
