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一种石英舟自动上下片装置

基本信息

申请号 CN201921706491.6 申请日 -
公开（公告）号 CN211125610U 公开（公告）日 2020-07-28
申请公布号 CN211125610U 申请公布日 2020-07-28
分类号 H01L21/677(2006.01)I 分类 -
发明人 畅家盛 申请（专利权）人 连云港国伦石英制品有限公司
代理机构 连云港联创专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 连云港国伦石英制品有限公司
地址 222000江苏省连云港市东海县牛山镇葛宅村东侧新牛公路北侧
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种石英舟自动上下片装置，包括支撑柱，支撑柱设置有四个，四个支撑柱的顶端共同固定连接有顶板，顶板的上方设置有液压缸，顶板的上表面开设有移动槽，液压缸的输出端延伸至顶板的下方，液压缸的输出端固定连接有保护壳，保护壳的底部固定连接有夹持框，本实用新型所达到的有益效果是：第一夹片和第二夹片能够同时紧紧夹持多个硅片，实现自动夹取，夹持框能够稳定的朝放置有承载盒的一端滑动，在移动过程中不会出现滑动和抖动，避免在转移硅片的过程中，硅片从夹持框内脱落，能够将夹持的硅片放置在承载槽内，自动上下片的效率高，转移稳定，能够提高产能。