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X射线管性能测试机构

基本信息

申请号 CN202110490971.9 申请日 -
公开（公告）号 CN113218633A 公开（公告）日 2021-08-06
申请公布号 CN113218633A 申请公布日 2021-08-06
分类号 G01M11/02（2006.01）I;G01R31/00（2006.01）I;H01J9/42（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 李永明;刘宇荣;王少哲;葛锐;李胜明;黄浩 申请（专利权）人 昆山国力大功率器件工业技术研究院有限公司
代理机构 苏州九方专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 张文婷
地址 215316江苏省苏州市昆山开发区西湖路28号6号房
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种X射线管性能测试机构，包括真空腔体、冷阴极测试组件、栅极升降组件、液冷阳极组件和焦斑测试组件，所述真空腔体上设有舱门以及内部设有载物平台。该X射线管性能测试机构具有阴极、栅极可调节，阳极可替换的特征，可用于冷阴极X射线管在制备前各项仿真数据的验证，在无需制备成管的情况下很方便的调整射线管性能的各项参数，亦可检验石墨电弧法、固相热解法、化学气相沉积、热解聚合物、丝网印刷等不同制备工艺下不同批次的冷阴极性能。这些特点能够极大的缩短冷阴极X射线管的开发时间，节省制管验证费用；对冷阴极进行质量检查，提升冷阴极X射线管的工作稳定性及成品率。