一种氧化锌的薄膜生长方法
基本信息
| 申请号 | CN202210290120.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114574961A | 公开（公告）日 | 2022-06-03 |
| 申请公布号 | CN114574961A | 申请公布日 | 2022-06-03 |
| 分类号 | C30B25/18;C30B25/16;C30B29/16 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 倪明堂;赵健州;何立波;吴俊美 | 申请（专利权）人 | 广东省智能机器人研究院 |
| 代理机构 | 东莞卓为知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汤冠萍 |
| 地址 | 523000 广东省东莞市松山湖园区学府路1号5栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种氧化锌的薄膜生长方法，包括以下步骤：选用蓝宝石衬底作为生长ZnO薄膜材料的衬底；将清洗过的衬底放在MOCVD设备的反应室衬底底座上；将反应室抽真空至3*10‑3Pa以下，以排净反应室中的空气；充入氮气和氢气的混合气体对衬底进行高温预处理3‑8min，高温预处理的温度为1000℃‑1200℃；将衬底降温到适合ZnO薄膜生长的温度；打开反应室衬底底座旋转开关，使得衬底匀速旋转；在MOCVD设备中利用载气从衬底侧面通入锌源和氧源，锌源和氧源在高速选择中转和加热均匀的衬底上会合并反应，在衬底上生长成ZnO薄膜；关闭锌源和氧源载气，待反应室压强升至常压，温度降至常温后从MOCVD设备中取出ZnO薄膜样品。 |
