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一种便于晶圆拿取装置

基本信息

申请号 CN201420083541.0 申请日 -
公开（公告）号 CN203740436U 公开（公告）日 2014-07-30
申请公布号 CN203740436U 申请公布日 2014-07-30
分类号 B65G1/04(2006.01)I 分类 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料;
发明人 张国男 申请（专利权）人 天津宇晗电子科技有限公司
代理机构 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 代理人 天津宇晗电子科技有限公司
地址 300385 天津市西青区汽车工业区中联产业园2号楼103
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种便于晶圆拿取装置，该装置设于工作平台上，包括晶圆盒、拨动机构、分别由电机控制的运行机构和槽轮机构；该晶圆盒包括顶板、底板和侧板，还包括第三轴和托盘，所述顶板、底板和侧板连接形成容纳腔，该容纳腔为一侧设有开口的半封闭容纳腔；所述第三轴竖直连接于顶板和底板间，并且该第三轴位于开口的一侧；所述托盘通过其边缘设有的卡环套接在第三轴上，所述卡环在与托盘相悖一侧外表面设有第一拨板；所述运行机构包括轨道和平板；所述拨动机构包括齿条和与该齿条相啮合的齿轮，所述齿条上端设有第二拨板，所述齿轮固定套接于第二轴上，所述齿条竖直且活动设置于平板上。本实用新型实现了机械手拾取晶圆的自动化。