具有跷跷板结构的两路集成可变光衰减器的制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201010223502.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102313985B | 公开（公告）日 | 2014-04-09 |
| 申请公布号 | CN102313985B | 申请公布日 | 2014-04-09 |
| 分类号 | G02B26/08(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 周敬然;张海英 | 申请（专利权）人 | 北京中科仁健科技有限公司 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 中国科学院微电子研究所;中科仁健科技有限公司;北京中科微投资管理有限责任公司;仁建科技有限公司;澳芯集成电路技术（广东）有限公司 |
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种具有跷跷板结构的两路集成可变光衰减器，该衰减器包括两对单模光纤(1)、光纤定位结构(2)、具有跷跷板结构的可动上电极(3)和固定下电极(4)，其中光纤定位结构(2)是在硅片上腐蚀出的V型槽自对准结构，可动上电极(3)包括微镜(31、31′)和跷跷板式悬臂(32)，其中微镜(31、31′)分别位于所述悬臂(32)两端，固定下电极(4)包括硅片上腐蚀出来的凹槽(41)和蒸镀在凹槽上的金属电极(42、42′)。本发明还公开了一种制作具有跷跷板结构的两路集成可变光衰减器的方法。本发明满足了两路集成，有效减小了器件体积，满足了当前光电子器件向集成化、小型化发展的需求。 |
