RWG型DFB激光器脊条上图形窗口的实现工艺
基本信息
| 申请号 | CN201810670020.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108649428A | 公开（公告）日 | 2018-10-12 |
| 申请公布号 | CN108649428A | 申请公布日 | 2018-10-12 |
| 分类号 | H01S5/12;H01S5/22;G03F7/00 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 曲迪;白国人;陈墨;梁娟;宋学颍 | 申请（专利权）人 | 华慧高芯科技（深圳）有限公司 |
| 代理机构 | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 | 代理人 | 华慧芯科技（天津）有限公司;天津华慧芯科技集团有限公司;华慧高芯科技（深圳）有限公司 |
| 地址 | 300467 天津市滨海新区生态城中天大道1620号生态科技园启发大厦12层101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种RWG型DFB激光器脊条上图形窗口的实现工艺。属于微电子技术、光纤通信技术领域，其特征在于，至少包括以下步骤：步骤一：基片清洗；步骤二：在基片表面旋涂双层光刻胶，通过曝光显影，将光刻版上的图案转移至基片表面；步骤三：以光刻胶作掩膜，刻蚀出脊形波导结构；步骤四：利用原子层沉积法沉积薄膜作为绝缘层；步骤五：通过Lift‑off剥离工艺，去除光刻胶连同脊波导上方的薄膜，完成脊条上图形开窗。通过采用上述技术方案，本发明在保证工艺效果的基础上，简化了工艺流程，并且能够降低制造的成本。 |
