基于平面S型结的耐高压元件

基本信息

申请号 CN201921614311.1 申请日 -
公开(公告)号 CN210866180U 公开(公告)日 2020-06-26
申请公布号 CN210866180U 申请公布日 2020-06-26
分类号 H01L29/06(2006.01)I 分类 -
发明人 潘旭捷;曲迪 申请(专利权)人 华慧高芯科技(深圳)有限公司
代理机构 天津市鼎和专利商标代理有限公司 代理人 华慧高芯科技(深圳)有限公司
地址 518052广东省深圳市南山区粤海街道软件产业基地4栋A座702室A08
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种基于平面S型结的耐高压元件,涉及半导体技术领域,其特征在于:至少包括:单晶硅片、位于单晶硅片上表面的第二导电类型轻掺层、位于第二导电类型轻掺层一端的第一导电类型重掺杂层、位于第二导电类型轻掺层另一端的第二导电类型重掺层、与第一导电类型重掺杂层连通的第一电极、与所述第二导电类型重掺层连通的第二电极;相邻两条导电类型轻掺层之间为第一绝缘层;每条导电类型轻掺层的两侧均为第一绝缘层;第二导电类型轻掺层、第一绝缘层、第一导电类型重掺杂层和第二导电类型重掺层位于同一平面内;第一电极平行于上述导电类型轻掺层;第二电极平行于上述导电类型轻掺层;位于所述平面上的第二绝缘层。