研磨垫整理方法、研磨垫整理器及研磨机台
基本信息
| 申请号 | CN201210225955.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103522188B | 公开（公告）日 | 2018-07-20 |
| 申请公布号 | CN103522188B | 申请公布日 | 2018-07-20 |
| 分类号 | B24B53/017;B24B37/00 | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 唐强;刘永 | 申请（专利权）人 | 北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种研磨垫整理方法，在对晶圆进行研磨时，研磨盘下压对研磨垫进行整理，在研磨完一片晶圆后至开始进行下一片晶圆研磨之前的过程中，研磨盘以零压力停留在研磨垫上。还公开了一种用于如上所述的研磨垫整理方法中的研磨垫整理器，包括研磨盘和驱动轴，所述驱动轴驱动所述研磨盘转动。还公开了一种研磨机台，包括研磨垫，还包括如上述的研磨垫整理器，所述研磨垫整理器设置于所述研磨垫上。研磨盘可以在研磨批次晶圆的整个过程中始终停留在研磨垫上，而无需返回到清洗区域，避免了研磨盘进行反复的上行和下移运动，一方面，可以避免研磨盘碰伤晶圆，另外一方面，可以避免因碰擦其他部件而产生的颗粒物质污染晶圆。 |
