一种PEMS设备专用的气体分配器
基本信息
| 申请号 | CN202121994654.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215866594U | 公开（公告）日 | 2022-02-18 |
| 申请公布号 | CN215866594U | 申请公布日 | 2022-02-18 |
| 分类号 | G01N33/00（2006.01）I;G01D21/02（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张英志;王敬明;李兆胜;王立祥 | 申请（专利权）人 | 淄博青禾检测科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郝姗姗;原春香 |
| 地址 | 255000山东省淄博市高新区青龙山路9009号仪器仪表产业园17号楼A2座1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种PEMS设备专用的气体分配器。包括壳体、电源接口、NO输入口，O2输入口、N2输入口、第一压力传感器、第二压力传感器、第三压力传感器、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第一流量计、第二流量计、第三流量计、第一单向阀、第二单向阀、第三单向阀、臭氧发生器、混气罐、出气口、控制面板，所述NO输入口通过NO管线连接混气罐的进口，所述O2输入口通过O2管线连接臭氧发生器的进气端，所述N2输入口通过N2管线连接臭氧发生器的进气端，所述臭氧发生器的出气端连接混气罐的进口，所述混气罐的出口连接出气口。本实用新型能够实现气体的分配。 |
