一种半导体封装料盒的上下料装置

基本信息

申请号 CN202122707376.4 申请日 -
公开(公告)号 CN216686524U 公开(公告)日 2022-06-07
申请公布号 CN216686524U 申请公布日 2022-06-07
分类号 B65G49/07(2006.01)I;B65G41/00(2006.01)I;B65G21/12(2006.01)I;B65G15/30(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分类 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料;
发明人 刘维强;陈勇伶 申请(专利权)人 深圳市矽谷半导体设备有限公司
代理机构 广东科言知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 -
地址 518000广东省深圳市宝安区福永街道白石厦社区东区新塘工业区4栋301
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种半导体封装料盒的上下料装置,其包括立座、设置于立座上部的上层支撑结构、设置于立座下部的下层支撑结构以及一送料升降装置,送料升降装置设置有Z轴座、升降驱动机构、滑动设置于Z轴座上部的料盒上夹以及滑动设置于Z轴座下部的料盒下夹,料盒上夹与料盒下夹上下对合设置以用于夹持料盒,升降驱动机构用于驱动料盒上夹和料盒下夹同步升降,以使带动料盒在上层支撑结构与下层支撑结构之间切换。这样的结构设计通过料盒可以一次性承载很多片半导体晶圆,实现快速上料的目的,也不会出现料片划伤或者压坏等情况,减少不必要的损失,另外,采用上下层分布的方式可以轻松实现不同规格料盒切换和兼容。