一种直线旋转固晶拾取装置
基本信息
| 申请号 | CN202111302317.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113921436A | 公开（公告）日 | 2022-01-11 |
| 申请公布号 | CN113921436A | 申请公布日 | 2022-01-11 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈锦杰 | 申请（专利权）人 | 深圳市矽谷半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 广东科言知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 钟茵茵 |
| 地址 | 518000广东省深圳市宝安区福永街道白石厦社区东区新塘工业区4栋301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种直线旋转固晶拾取装置，其包括拾取头、直线驱动机构以及旋转驱动机构，直线驱动机构设置有直线基座、直线滑座以及用于驱动直线滑座相对于直线基座直线滑动的直线驱动源，旋转驱动机构设置有固定安装于直线滑座的旋转基座、安装于旋转基座的旋转电机以及电性连接于旋转电机的第一编码器，所以拾取头转动安装于旋转电机的驱动端。本发明通过旋转电机配合高精度的第一编码器控制拾取头旋转，保证拾取头的旋转精度能精确至角秒级，提高晶圆绑定精度，另外，通过直线驱动源实现拾取头直线式升降运动，这样的结构设计保证拾取头的运动位置精度更高，且能够快速停稳。 |
