一种芯片拾取中转台装置
基本信息
| 申请号 | CN202122694157.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216054625U | 公开（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申请公布号 | CN216054625U | 申请公布日 | 2022-03-15 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘维强 | 申请（专利权）人 | 深圳市矽谷半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 广东科言知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 钟茵茵 |
| 地址 | 518000广东省深圳市宝安区福永街道白石厦社区东区新塘工业区4栋301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种芯片拾取中转台装置，设置于外界的芯片拾取摆臂与外界的固晶装置之间，其包括中转台、X轴调节机构、Y轴调节机构以及分别设置于中转台上方和下方的视觉检测机构，中转台设置有中转基座、对位承载台以及安装于对位承载台的吸盘组件，X轴调节机构用于弥补中转台与固晶装置在X轴向的位置偏差，Y轴调节机构用于弥补中转台与固晶装置在Y轴向的位置偏差。这样的结构在芯片拾取摆臂与固晶装置的摆臂存在位置偏差时，能够通过中转台弥补芯片的位置偏差，通过位于吸盘组件上方的视觉检测机构实时检测芯片的位置和角度，通过位于吸盘组件下方的视觉检测机构对芯片的外观以及芯片角度进行实时检测，提高产品良率。 |
