一种固晶摆臂装置
基本信息
| 申请号 | CN202122760754.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216624215U | 公开（公告）日 | 2022-05-27 |
| 申请公布号 | CN216624215U | 申请公布日 | 2022-05-27 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘维强;周灿;陈勇伶 | 申请（专利权）人 | 深圳市矽谷半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 广东科言知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 518000广东省深圳市宝安区福永街道白石厦社区东区新塘工业区4栋301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及晶片封装生产技术领域，尤其是指一种固晶摆臂装置，包括力臂座、力臂件以及拾取件，所述力臂件设置于所述力臂座，所述拾取件设置于所述力臂件远离所述力臂座的一端，所述力臂件设置有两个检测件，两个检测件用于与外界的晶圆抵触并与该晶圆的接触高度差检测触点的通断。本实用新型通过设置有两个检测件，经两个检测件构成闭合回路与晶圆接触的高度差判断触点的通段，通过该触点的通断判断对晶圆的接触高度的高低，达到了检测效果。 |
