一种伺服驱动双摆臂装置
基本信息
| 申请号 | CN202111332877.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113990785A | 公开（公告）日 | 2022-01-28 |
| 申请公布号 | CN113990785A | 申请公布日 | 2022-01-28 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈勇伶 | 申请（专利权）人 | 深圳市矽谷半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 广东科言知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 钟茵茵 |
| 地址 | 518000广东省深圳市宝安区福永街道白石厦社区东区新塘工业区4栋301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种伺服驱动双摆臂装置，包括摆臂旋转控制装置以及摆臂垂直上下控制机构，其中摆臂旋转控制装置包括一内设有气路的旋转轴，旋转轴通过同轴器连接有一旋转伺服电机；摆臂垂直上下控制机构包括设于旋转轴的底部的摆臂中座，摆臂中座的前后两侧分别上下滑动安装有一摆臂组件，摆臂组件传动连接有升降伺服电机，升降伺服电机与所述控制装置信号连接。与现有技术相比，轻量化的旋转轴降低了旋转惯性，提高摆臂的动作精准度，用伺服电机驱动降低成本，由气动滑环组成的气路结构降低气管对摆臂高速运动的影响，杜绝传统气路连接方式对摆臂的拉扯，提高摆臂整定和精度。 |
