一种改进的草酸铟溶解剂组合物及蚀刻设备清洗工艺
基本信息
| 申请号 | CN202110224947.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113025333A | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN113025333A | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | C09K13/06;H01L21/306 | 分类 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用; |
| 发明人 | 邵勇;徐杨;朱永刚;顾维忠;彭聪;胡生望 | 申请（专利权）人 | 四川江化微电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 无锡坚恒专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 杜兴 |
| 地址 | 620860 四川省眉山市彭山经济开发区创新二路东段12号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种改进的草酸铟溶解剂组合物，主要组分为碱性组分、螯合剂、pH值调节剂和水，螯合剂主要组成为螯合剂A和螯合剂B，螯合剂A为选自氨基多羧酸及其盐中的至少一种，螯合剂B为羟基多羧酸及其盐中的至少一种，改进的草酸铟溶解剂组合物的pH值为9.5～10.5。本发明改进的草酸铟溶解剂组合物采用复配螯合剂体系，利用两种螯合剂在草酸铟溶解剂组合物体系下具有协同的螯合性能，增加草酸铟的溶解度并且提高溶解速率。本发明还公开了一种基于草酸铟溶解剂组合物的蚀刻设备清洗工艺。 |
