一种基于线激光扫描的晶棒三维测量装置
基本信息
| 申请号 | CN201920262818.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209877902U | 公开（公告）日 | 2019-12-31 |
| 申请公布号 | CN209877902U | 申请公布日 | 2019-12-31 |
| 分类号 | G01B11/24（2006.01） | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 李宇翔; 姜宝柱; 李仕豪; 田增国; 陈浩; 张宏帅 | 申请（专利权）人 | 洛阳德晶智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 洛阳公信知识产权事务所（普通合伙） | 代理人 | 洛阳德晶智能科技有限公司 |
| 地址 | 471000 河南省洛阳市中国（河南）自由贸易试验区洛阳片区高新技术产业开发区滨河北路99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种基于线激光扫描的晶棒三维测量装置，包括升降平台、晶棒放置平台、可视化储存部分、微处理器部分，还包括线激光扫描仪、用于承载线激光扫描仪的滑块平台、用于滑块平台移动的滑台轨道、用于驱动滑台轨道的滑块电机、滑块固定装置，升降平台、晶棒放置平台、可视化储存部分、线激光扫描仪、滑块电机分别与微处理器部分连接；线激光扫描仪位于晶棒放置平台的正上方且朝向晶棒放置平台设置，线激光扫描仪连接在滑块平台上，滑块平台相配合的设置在滑台轨道上，滑台轨道与其一侧的滑块电机电连接，滑台轨道上设有用于固定线激光扫描仪、滑块平台、滑台轨道的滑块固定装置，实现了对晶棒的高精度、高效率、高稳定性的测量。 |
