一种用于单晶炉夹取晶棒时的对中装置
基本信息
申请号 | CN201920262798.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN209619503U | 公开(公告)日 | 2019-11-12 |
申请公布号 | CN209619503U | 申请公布日 | 2019-11-12 |
分类号 | C30B15/30(2006.01)I; C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 张军强; 丁宁; 田增国; 李仕豪; 李宇翔; 姜宝柱 | 申请(专利权)人 | 洛阳德晶智能科技有限公司 |
代理机构 | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) | 代理人 | 洛阳德晶智能科技有限公司 |
地址 | 471000 河南省洛阳市中国(河南)自由贸易试验区洛阳片区高新技术产业开发区滨河北路99号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 为解决现有技术中人工操作易掉棒的问题,本实用新型提供一种用于单晶炉夹取晶棒时的对中装置,包括壳体、设置在壳体内的控制组件、设置在壳体上的方向确定组件、位置确定组件以及抓取定位组件;方向确定组件包括用于向炉门侧壁上投射辅助夹爪调平的辅助线的标线器;位置确定组件包括用于分别测量夹爪的左右两侧与炉门之间距离的左侧测距器和右侧测距器;抓取定位组件包括用于分别测量夹爪的左右两侧与炉内壁之间距离的左定位器和右定位器;左侧测距器和右侧测距器之间的距离大于炉门的宽度并水平的对称设置在壳体面向炉门的一侧。本实用新型可靠性高,使用后,大大提升了可靠性,减少了企业的生产成本。 |
