减反射复合膜及其制备方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN201911112457.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112885906A | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN112885906A | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | H01L31/0216;H01L31/0445;H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 邱阳;李博研;钟大龙;宋斌斌;姜鑫先;张树旺;张波 | 申请（专利权）人 | 神华（北京）光伏科技研发有限公司 |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘依云;乔雪微 |
| 地址 | 102209 北京市昌平区北七家镇未来科技城定泗路237号都市绿洲313A室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及减反射膜领域，公开了减反射复合膜及其制备方法和应用。所述减反射复合膜包含依次层叠的A膜层、第二材料膜，所述A膜层包含连续交替层叠的SiO2膜、第一材料膜，SiO2膜、第一材料膜的连续交替层叠次数大于等于4，其中，第一材料膜的折射率为1.95‑2.41，厚度为12‑150nm；所述SiO2膜的折射率为1.45‑1.47，厚度为12‑200nm；第二材料膜的折射率为1.35‑1.39，厚度为90‑120nm。本发明所述的减反射复合膜不仅具有较强的宽光谱减反射效果，而且在膜系设计及膜料选择上充分考虑薄膜的应力匹配问题，使各膜层间具有较高的界面结合强度，延长产品的使用寿命。 |
