膜层物质的光谱联用分析方法及其应用专利查询专利号|摘要-满商公司网

膜层物质的光谱联用分析方法及其应用

基本信息

申请号	CN202010101162.X	申请日	-
公开（公告）号	CN113281266A	公开（公告）日	2021-08-20
申请公布号	CN113281266A	申请公布日	2021-08-20
分类号	G01N21/21（2006.01）I;G01N21/67（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	孙瑶;宋斌斌;赵笑昆;钟大龙	申请（专利权）人	神华（北京）光伏科技研发有限公司
代理机构	北京润平知识产权代理有限公司	代理人	刘依云;乔雪微
地址	102209北京市昌平区北七家镇未来科技城定泗路237号都市绿洲313A室
法律状态	-

摘要

本发明涉及多层膜的光谱分析技术领域，公开一种膜层物质的光学常数和介电常数的测量方法及其应用。该测量方法包括：（1）对膜层物质进行深度剖析光谱测试，得到膜层物质沿厚度方向上的元素组成分布光谱数据；（2）对膜层物质进行椭圆偏振测试，得到膜层物质的椭偏参数；（3）根据所述元素组成分布光谱数据，构建所述膜层物质的层结构和确定各层结构的成分组成，建立所述膜层物质的结构模型；（4）根据菲涅尔公式，将所述膜层物质的结构模型和椭偏参数进行迭代拟合，得到光学常数和介电常数。本发明采用将深度剖析后的输出数据作为椭圆偏振光谱仪的测试输入，快速有效的将传递函数信息作为建模依据，实现各种多层膜结构的光学常数/介电常数获得。