一种薄膜纵向不均匀性检测方法、装置及终端和检测系统
基本信息
| 申请号 | CN201910273286.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111781148A | 公开（公告）日 | 2020-10-16 |
| 申请公布号 | CN111781148A | 申请公布日 | 2020-10-16 |
| 分类号 | G01N21/21;G01N21/27 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 孙瑶;钟大龙;王新宇 | 申请（专利权）人 | 神华（北京）光伏科技研发有限公司 |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王崇 |
| 地址 | 102209 北京市昌平区北七家镇未来科技城定泗路237号都市绿洲313A室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种薄膜纵向不均匀性检测方法、装置、检测系统以及终端，涉及薄膜检测技术领域，以提高无损检测薄膜纵向不均匀性方法的适用范围。该薄膜纵向不均匀性检测方法包括：接收被测样品的椭偏光谱曲线信息，被测样品至少包括被测薄膜；根据被测样品的特性建立各向同性的物理模型，物理模型至少包括薄膜模型；将薄膜模型所含有的至少一个变量参数转换为梯度化变量参数；以被测样品的椭偏光谱曲线信息为曲线拟合目标，利用薄膜模型对梯度化变量参数进行曲线拟合，获得被测样品的光电参数在被测样品纵向方向上的变化曲线信息；根据变化曲线信息确定被测样品的纵向不均匀性。本发明用于薄膜纵向不均匀性检测。 |
