一种微波元器件及其制造方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种微波元器件及其制造方法

基本信息

申请号	CN200610027783.8	申请日	-
公开（公告）号	CN100533853C	公开（公告）日	2009-08-26
申请公布号	CN100533853C	申请公布日	2009-08-26
分类号	H01P11/00(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	贺连星;朱守正	申请（专利权）人	上海联能科技有限公司
代理机构	上海光华专利事务所	代理人	余明伟
地址	201103上海市长宁区桂林路929号广飞大厦4楼
法律状态	-

摘要

本发明提供一种微波元器件及其制造方法，包括陶瓷基片、位于陶瓷基片上的中间粘结层和位于中间粘结层上的电极层，所述中间粘结层和电极层为微波元器件图案，所述电极层为电镀电极层。一种微波元器件的制造方法，提供一陶瓷基片，在其表面形成一中间粘结层，在中间粘结层上涂光胶并进行光刻，以露出部分中间粘结层；在露出的中间粘结层上电镀电镀电极层；去除剩余光胶和剩余光胶下部的中间粘结层。本发明通过电镀与光刻相结合的方式，可根据实际需要设定电极层的厚度，满足了移相器、滤波器、谐振器等微波元器件对电极层厚度的要求，解决了其电极层厚度过薄的问题，降低了电极层的传输损耗，从而大大减少了微波元器件的插入损耗，提高了微波元器件的性能。