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一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置

基本信息

申请号 CN201922030084.4 申请日 -
公开（公告）号 CN210765503U 公开（公告）日 2020-06-16
申请公布号 CN210765503U 申请公布日 2020-06-16
分类号 C23C16/513(2006.01)I 分类 -
发明人 冯林;李权;张军 申请（专利权）人 湖北天合光能有限公司
代理机构 北京天奇智新知识产权代理有限公司 代理人 杨文录
地址 433000湖北省仙桃市桃花岭大道中段28号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开的属于机械设备配件技术领域，具体为一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置，包括弧形管、第一管道和弯管，所述弧形管的右侧壁固定连接所述第一管道，所述第一管道的左侧壁贯穿所述弧形管的内腔右侧壁后与所述弯管的右侧壁螺纹连接，该种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置，将装置用真空卡箍与管道密封连接，打开手动阀，足够压力的压缩空气可以将真空管道内的粉尘顺利地吹向燃烧桶，配合弯管，使吹风过程沿内壁弧形上升，可把底部沉积的粉尘同步清理，避免堆积，避免人工清理粉尘的人力消耗和粉尘污染问题，为真空泵提供了良好的抽风的环境，增加真空泵尾排抽风量，延长其使用寿命，减少大笔维修成本。