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一种硅片刻蚀带叶滚轮装置

基本信息

申请号 CN201820360128.2 申请日 -
公开（公告）号 CN208062086U 公开（公告）日 2018-11-06
申请公布号 CN208062086U 申请公布日 2018-11-06
分类号 H01L31/18;H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 黄俊 申请（专利权）人 湖北天合光能有限公司
代理机构 北京天奇智新知识产权代理有限公司 代理人 刘琼
地址 433000 湖北省仙桃市桃花岭大道中段28号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了硅片刻蚀技术领域的一种硅片刻蚀带叶滚轮装置，包括底座，所述底座的顶部均匀开设有卡槽，所述底座的顶部均匀开设有第一固定螺孔，两组所述卡槽在两组第一固定螺孔之间，所述底座的顶部连接有挡板，所述挡板的底部均匀开设有压槽，所述挡板的顶部均匀连接有第二固定螺孔，两组所述压槽在两组第二固定螺孔之间，所述卡槽与压槽之间连接有带叶滚轮，所述底座与挡板的左侧连接有支撑柱，所述支撑柱的右侧镶嵌有轴承，本实用新型将原有的平面滚轮轴变为带叶滚轮，减少了与酸的接触面，减少了成本，本实用新型滚轮轴通过挡板和螺钉将其固定在底座上，降低了滚轮轴的跳动，提高了生产质量。