一种直写式光刻机的电控装置及直写式光刻机
基本信息
| 申请号 | CN201620920021.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206057793U | 公开（公告）日 | 2017-03-29 |
| 申请公布号 | CN206057793U | 申请公布日 | 2017-03-29 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王新旺;刘涛;杨振玲 | 申请（专利权）人 | 天津芯硕精密机械有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡志成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 天津芯硕精密机械有限公司 |
| 地址 | 300457 天津市滨海新区开发区黄海路167号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及直写式光刻机设备技术领域，尤其涉及一种直写式光刻机的电控装置及直写式光刻机。其中，直写式光刻机的电控装置包括上位机、通信控制器件、激光器控制器件、聚焦控制器件、外围控制器件和温湿度监测器件；通信控制器件的一端与所述上位机电连接，另一端分别与激光器控制器件、聚焦控制器件、外围控制器件以及温湿度监测器件的输入端电连接；激光器控制器件的输出端与激光器电连接；聚焦控制器件的输出端与聚焦电机电连接；外围控制器件的输出端与外围设备电连接。直写式光刻机包括上述直写式光刻机的电控装置。本实用新型提供的直写式光刻机的电控装置及直写式光刻机，摆脱了上位机直接控制下位机的情况，接口连接稳定可靠。 |
