一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构及直写式光刻机
基本信息
| 申请号 | CN201620920059.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206057794U | 公开（公告）日 | 2017-03-29 |
| 申请公布号 | CN206057794U | 申请公布日 | 2017-03-29 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王昱山;刘涛;马强 | 申请（专利权）人 | 天津芯硕精密机械有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡志成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 邵晓玉 |
| 地址 | 300457 天津市滨海新区开发区黄海路167号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及直写式光刻机领域，尤其涉及一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构及直写式光刻机。直写式光刻机控制面板的锁紧机构包括骨架和支撑装置；骨架固定连接在直写式光刻机的底座上；直写式光刻机上的控制面板与骨架可拆卸连接；直写式光刻机上的气动门保护板的一端与骨架固定连接，另一端与控制面板可拆卸连接；支撑装置固定连接在骨架上；支撑装置位于气动门保护板的下方，且与气动门保护板紧密接触。直写式光刻机包括上述直写式光刻机控制面板的锁紧机构，气动门保护板和控制面板。本实用新型提供的直写式光刻机控制面板的锁紧机构及直写式光刻机，具有结构简单新颖，稳定性强，便于拆装，且方便实用等诸多技术优势。 |
