对准镜筒、对准镜头及光刻机
基本信息
| 申请号 | CN201621254599.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206292525U | 公开（公告）日 | 2017-06-30 |
| 申请公布号 | CN206292525U | 申请公布日 | 2017-06-30 |
| 分类号 | G03F7/20;G03F9/00;G02B7/02 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 刘宝金;刘涛;王喜宝 | 申请（专利权）人 | 天津芯硕精密机械有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡志成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 天津芯硕精密机械有限公司 |
| 地址 | 300457 天津市滨海新区开发区黄海路167号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及光刻技术领域，尤其涉及一种对准镜筒、对准镜头及光刻机。对准镜筒包括第一镜筒和第二镜筒；第一镜筒沿长度方向设置有第一光路通道，第一光路通道贯穿第一镜筒；第二镜筒沿长度方向设置有第二光路通道，第二光路通道贯穿所述第二镜筒；第一镜筒的第一端与第二镜筒的第三端可拆卸连接，第一镜筒的长度方向与第二镜筒的长度方向重合；对准镜头包括上述对准镜筒，还包括第一镜片组和第二镜片组；光刻机包括上述对准镜头。本实用新型的目的在于提供一种对准镜筒、对准镜头及光刻机，以解决现有的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了难度的技术问题。 |
