石墨舟上下料检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202121615916.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215177580U | 公开（公告）日 | 2021-12-14 |
| 申请公布号 | CN215177580U | 申请公布日 | 2021-12-14 |
| 分类号 | G01B11/16（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 顾生刚;时宝;盛健;林纲正;陈刚 | 申请（专利权）人 | 珠海富山爱旭太阳能科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳盛德大业知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张红伟 |
| 地址 | 300400天津市北辰区天津北辰经济技术开发区科技园高新大道73号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型适用于太阳能电池领域，提供一种石墨舟上下料检测装置，该石墨舟上下料检测装置包括，装卸平台，位于装卸平台的石墨舟、定位装置、检测装置、上下料装置、震动装置，以及与定位装置、检测装置、上下料装置及震动装置连接的控制装置。通过该检测装置可实现对石墨舟位置的实时定位，实现对石墨舟状态的实时监控，控制装置根据石墨舟的实时位置及形变信息调整上下料装置的机械手，以实现准确插片和卸片；并通过震动装置对硅片进行自动矫正，提高了上下料的效率，并减少人工检测和监控，降低了人工成本，避免了因硅片和石墨舟发生形变从而给硅片和石墨舟带来的损伤问题。 |
