单面PERC电池及其钝化层的制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110923554.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113782618A | 公开（公告）日 | 2021-12-10 |
| 申请公布号 | CN113782618A | 申请公布日 | 2021-12-10 |
| 分类号 | H01L31/0216（2014.01）I;H01L31/18（2006.01）I;C23C16/30（2006.01）I;C23C16/34（2006.01）I;C23C16/40（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 吴疆;杨苏平;杨亮;林纲正;陈刚 | 申请（专利权）人 | 珠海富山爱旭太阳能科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳盛德大业知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 贾振勇 |
| 地址 | 528000广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南3号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请适用于太阳能电池技术领域，提供了一种单面PERC电池及其钝化层的制作方法。单面PERC电池包括依次层叠的：电池基片、氧化铝膜、氮化硅膜、氮氧化硅膜和氧化硅膜。如此，通过依次层叠于电池基片的氧化铝膜、氮化硅膜、氮氧化硅膜和氧化硅膜，形成单面PERC电池背面的钝化层，可以提高单面PERC电池的背面内反射，提高光电转换效率，并改善PID。 |
