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一种减少绕镀和色差的PERC太阳能电池制作方法

基本信息

申请号 CN202010040515.X 申请日 -
公开（公告）号 CN111081823B 公开（公告）日 2021-12-17
申请公布号 CN111081823B 申请公布日 2021-12-17
分类号 H01L31/18（2006.01）I;H01L31/0216（2014.01）I;H01L31/068（2012.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 姜泽光;林纲正;陈刚 申请（专利权）人 珠海富山爱旭太阳能科技有限公司
代理机构 浙江杭州金通专利事务所有限公司 代理人 金丽英
地址 528100 广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南3号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种减少绕镀和色差的PERC太阳能电池制作方法，包括制绒、扩散、正面激光、刻蚀、退火、背面沉积钝化膜、正面沉积减反膜、背面激光、丝网印刷和烧结步骤，所述背面沉积钝化膜步骤在硅片背面依次沉积背面氧化铝膜、背面氧化硅膜、第一层背面氮化硅膜，在所述正面沉积减反膜步骤之后、所述背面激光步骤之前增加背面沉积第二层氮化硅膜步骤，所述背面沉积第二层氮化硅膜步骤在硅片背面沉积折射率低但膜厚较厚的第二层背面氮化硅膜。采用本方法制成的电池片，正面外观颜色较深且偏黑，边缘绕镀较少，正面膜色均匀无色差出现，能满足黑背板组件对电池片正面外观膜色严苛的要求。