一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置及方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置及方法

基本信息

申请号	CN201710294714.1	申请日	-
公开（公告）号	CN107099768B	公开（公告）日	2019-07-12
申请公布号	CN107099768B	申请公布日	2019-07-12
分类号	C23C14/04	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	李万辉	申请（专利权）人	东晶锐康晶体（成都）有限公司
代理机构	成都睿道专利代理事务所（普通合伙）	代理人	东晶锐康晶体（成都）有限公司
地址	610041 四川省成都市高新区西部园区天映路101号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置，它包括底板（5）、定位板（6）和校正板（7），定位板（6）固定于底板（5）的顶部，定位板（6）纵向设置，定位柱（8）截面呈三角形，校正板（7）放置于底板（5）上且遮盖腰形孔和电磁铁（11），校正板（7）的边缘上设置有两个V形卡槽（12），它还包括第一定位杆（13）和第二定位杆（14），第一定位杆（13）的下端部贯穿校正板（7）且抵于第一腰形孔（9）内，第二定位杆（14）的下端部穿过校正板（7）且抵于第二腰形孔（10）内，定位杆的外径小于腰形孔的宽度；它还公开了校准方法。本发明的有益效果是：结构紧凑、提高校准效率、减轻劳动强度、操作简单。