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一种扩散炉自动炉门

基本信息

申请号 CN201920591889.3 申请日 -
公开（公告）号 CN209840724U 公开（公告）日 2019-12-24
申请公布号 CN209840724U 申请公布日 2019-12-24
分类号 F27D1/18（2006.01） 分类 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕;
发明人 梅兴东 申请（专利权）人 青岛海迪克微电子设备有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 266041 山东省青岛市李沧区青山路680号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种扩散炉自动炉门，包括门体和锁紧装置，门体通过转轴安装在用于带动门体绕转轴旋转的旋转机构上，旋转机构安装在用于带动旋转机构、门体平行移动的进退机构上，本实用新型具有结构简单紧凑、密封性好、可靠性高、使用寿命长的特点。