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一种等离子体驱动装置

基本信息

申请号 CN200420029732.5 申请日 -
公开（公告）号 CN2735710Y 公开（公告）日 2005-10-19
申请公布号 CN2735710Y 申请公布日 2005-10-19
分类号 H05H1/18;H05H1/54 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 秦友刚 申请（专利权）人 石家庄钢铁股份有限公司
代理机构 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 代理人 石家庄钢铁股份有限公司;石家庄钢铁有限责任公司
地址 050031河北省石家庄市长安区和平东路363号
法律状态 -

摘要

摘要 一种等离子体驱动装置，属等离子体技术领域，用于解决利用等离子体作驱动动力的问题，其技术方案是；它包括真空腔、微波源、初级真空泵、出口阀、等离子体输送管，环绕等离子体输送管设有定子铁芯，定子铁芯靠近等离子体输送管一侧绕有交流绕组线圈。采用这种结构的等离子体驱动装置，可实现等离子体驱动的全封闭、非接触、高低速任意可调，可用于超高真空泵、各种速度下的等离子体镀膜、低压等离子粒子束及实现其它等离子体的定向运动。由于该方法更容易控制等离子体处理的量度、纯度和气氛，特别适合于高精尖的材料科学研究和制造领域。