定位装置及扩散炉

基本信息

申请号 CN202210098808.2 申请日 -
公开(公告)号 CN114520177A 公开(公告)日 2022-05-20
申请公布号 CN114520177A 申请公布日 2022-05-20
分类号 H01L21/68(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;C30B31/00(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 宋修扬;孙军旗;赵利;孙玉群 申请(专利权)人 青岛惠科微电子有限公司
代理机构 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 代理人 -
地址 266200山东省青岛市即墨区北安街道办事处太吉路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种定位装置及扩散炉,调节机构包括固定支架、角度调节装置、角度传感器、计算模块、以及控制装置;固定支架通过角度调节装置与底座可转动连接,碳硅桨的一端与固定支架水平连接,控制装置设置在底座上,且与角度调节装置连接;角度传感器、计算模块均设置在固定支架上,角度传感器与计算模块连接,计算模块与控制装置连接;角度传感器用于记录所述石英舟空载时所述碳硅桨的角度,和石英舟装载硅片后碳硅桨的角度;计算模块用于计算石英舟空载时和装载硅片后碳硅桨的角度差值,并将信号传输给控制装置;控制装置控制角度调节装置,将固定支架抬升一预设角度,且预设角度等于角度差值。本申请能够纠正碳硅桨上料前后的位置误差。