定位装置及扩散炉
基本信息
申请号 | CN202210098808.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114520177A | 公开(公告)日 | 2022-05-20 |
申请公布号 | CN114520177A | 申请公布日 | 2022-05-20 |
分类号 | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;C30B31/00(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 宋修扬;孙军旗;赵利;孙玉群 | 申请(专利权)人 | 青岛惠科微电子有限公司 |
代理机构 | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 266200山东省青岛市即墨区北安街道办事处太吉路1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请公开了一种定位装置及扩散炉,调节机构包括固定支架、角度调节装置、角度传感器、计算模块、以及控制装置;固定支架通过角度调节装置与底座可转动连接,碳硅桨的一端与固定支架水平连接,控制装置设置在底座上,且与角度调节装置连接;角度传感器、计算模块均设置在固定支架上,角度传感器与计算模块连接,计算模块与控制装置连接;角度传感器用于记录所述石英舟空载时所述碳硅桨的角度,和石英舟装载硅片后碳硅桨的角度;计算模块用于计算石英舟空载时和装载硅片后碳硅桨的角度差值,并将信号传输给控制装置;控制装置控制角度调节装置,将固定支架抬升一预设角度,且预设角度等于角度差值。本申请能够纠正碳硅桨上料前后的位置误差。 |
